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【研报】电子化学品专题-CMP材料(17页)

CMP材料全球市场约20亿美元,现有技术水平下未来继续保持4%的增速。CMP技术是目前唯一可以在微观上实现表面全局平坦化的技术,CMP材料是集成电路芯片制成工艺过程中的关键耗材,技术门槛高,陶氏在全球占有79%的市场份额,在中国也占有80%以上的市场。6 IC芯片特征尺寸趋于缩小,CMP次数将大幅增加,技术革新会带来CMP材料的增量市场。28nm制程需要12-13次CMP,进入10nm制程后CMP次数将翻倍。CMP技术最早使用在氧化硅抛光中,是用来进行层间介质(ILD)的全局平坦的,在半导体进入0.35μm节点之后,CMP更广泛地应用在金属钨、铜、多晶硅等的平坦化工艺中。随着金属布线层数的增多,需要进行CMP抛光的步骤也越多,以28nm节点工艺为例,所需CMP次数为12-13次,而进入10nm制程节点后,CMP次数则会翻一番,达到25-26次。7 晶圆代工产业扩张将是抛光垫市场成长的主要动力。相对于全球市场萎缩,中国的半导体材料市场则仍保持2%的增长,为61.2亿美元(约403亿人民币)。其中,芯片制造领域,中国晶圆代工厂产能保持9%增长(2016年110万片/月,2017年120万片/月),对CMP的需求至少会有同比例的需求,因此CMP材料市场增速会高于半导体材料的平均增速。8 国产高端抛光垫市占率为零。目前抛光垫的全球供给由陶氏公司垄断,占据79%的市场份额,此外还有卡博特、日本东丽、Thomas West等。国内市场上,陶氏的20英寸抛光垫占据了85%的市场份额,30英寸的市占率则更高,其余市场份额被台湾的IVT、日本东洋Toyo和Thomas West瓜分。国内企业没有能够生产集成电路的抛光垫,这个市场空白亟待弥补。9 10