【行业】半导体产业洁净室行业深度研究(42页)
起源于军事工业,发展于产业升级。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。不论外界空气条件如何变化,洁净室内均能维持原设定的洁净度、温度及压力等性能,以满足使用需求。洁净室最主要的作用在于控制在其内生产的产品所接触的空气的洁净度及湿度等各项指标符合标准,使产品能在一个具有良好条件和高度稳定性的环境空间中生产制造。
洁净室的原理(气流组织方式)。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。洁净室控制污染源的途径主要有3 种:1、控制污染源,减少污染发生量;2、迅速排出室内已经发生的污染;3、有效阻止室外的污染侵入。第1 点和第3 点都可以通过封闭性和化学设备等解决,而核心的第2 点则需要利用流体力学的物理原理。在流体力学中,按照运动要素流速、加速度等有无时间因素可以分为稳定流与不稳定流,按照流线形状可以分为渐变流和突变流,按照有无质点交换可以分为层流和紊流。
洁净室工程属于生产辅助型工程。洁净室工程是生产辅助性工程,是高端制造不可或缺的一部分。洁净室工程的需求来源于准备建厂的业主,比如晶圆制造商、面板生产商等,洁净室建设完成之后再交付给业主,业主使用洁净室来进行生产活动,故洁净室工程并不单独存在,而是生产厂商的辅助性工程,但同时,也是高端制造不可或缺的一部分。