【行业】IC载板-ABF载板先进封装注入新活力(27页)
封装的不同层级实际代表着互连密度的不同。晶圆通常采用光刻工艺;一级封装对应 IC 载板封装,把芯片特征尺寸放大到与基板特征尺寸对应的 I/O输出,实现芯片和基板的互连;二级封装对应 PCB 封装,相当于把基板的特征尺寸放大到 PCB 特征尺寸,实现信号的互连。IC 载板主要用于支撑以及电气连接。IC 载板是半导体封装件的重要组成,主要作用:一是介于芯片与常规印制电路板(多为主板,母板,背板)之间,实现电气连接(过渡);二是为芯片提供保护和支撑,形成散热的通道,并且使封装件达到符合标准安装尺寸。mSAP 成本低,良率高,成为主流工艺。减成法是通过蚀刻去除覆铜板表面上不需要的铜箔以获取导电图形,该方法最大的问题是在蚀刻过程中,铜层侧面也会被刻蚀一部分(侧蚀),侧蚀的存在使得 PCB 的最小线宽/线距只能大于50um/50um;加成法在需要导电图形区域先沉积导电金属层,然后进行化学电镀加厚导电图形,该方法对基材和工艺流程要求很高,成本高,产量不大,主要用于生产 WB 或 FC 覆晶载板,其制程可达 12μm/12μm;半加成法是指用干膜将不需要的图形覆盖,利用图形电镀加厚所需要即未被干膜覆盖的电路图形,再通过蚀刻将不需要的部分快速蚀刻掉获得最后的电路图形;改良型半加成法(mSAP)是半加成法技术之上而得,其生产良率大幅度提高,生产成本下降,是目前精细电路线路载板最主流的制造方法,大量应用于 CSP、WB 和 FC 覆晶载板等精细线路载板的制造。