【行业】前道设备-2021年再迎新黄金时代(139页)
前道设备属于资金/人才/技术密集的行业,技术领先是行业竞争关键。根据SEMI数据,2020年全球半导体设备产值为608亿美元。前道设备在产业链中属于轻资产的技术密集型行业。技术领先的设备才能生产出先进制程的芯片,因此技术是垄断市场的关键。
前道设备竞争格局寡头垄断,行业领先者享有大部分利润:近年来芯片制造工艺已经发展至14nm以下的先进制程,对于前道设备的技术门槛要求很高,全球前五大设备企业占市场份额70%,形成寡头垄断的市场格局,行业中少数的企业享有大部分的市场利润。
图形转移至芯片的制程如下:(1)薄膜沉积工艺(CVD/氧化)在晶圆上沉积一层待处理的薄膜。(2)光刻工艺:把光刻胶涂抹在薄膜上,再通过曝光光刻和显影将光罩上的图形转移至光刻胶(3)刻蚀工艺:刻蚀晶圆上未被光刻胶覆盖的区域,将光刻胶上的图形转移到晶圆商。最后去除光刻胶后,即完成图形从光罩到晶圆的转移。


